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多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統 Bell jar cleaning system

　　■適用范圍

　　西門子法多晶硅還原爐鐘罩（爐筒）內壁的全自動清洗和烘干。

　　■工作原理

　　以高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。

　　用經過三級凈化（10萬級）的純凈空氣，梯級加熱，*終保證烘干完的鐘罩不再結露，可直接進入生產作業。
 
　　■系統特點

        1)技術能力強，設計合理，根據客戶需求，總結借鑒國內外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，設計出本套系統，實現了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計。

        2)設備性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。

        3)自動化程度高：PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。

        4)適應范圍廣：可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。

        5)節能、環保、安全：提供了預熱（余熱蒸汽、余熱水或油）加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統，基本消除了對現場及操作人員的污染。

        6)德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處。服務體系網絡健全，零配件充足。

　　■工作流程

　　還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑（堿液）清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。

　　注：清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響，這方面我公司積累了豐富的實踐經驗解決閃爆等問題。

　　■基礎條件

　　1)電源：380V/50Hz，30KW，電纜引至控制柜。

　　2)蒸汽：壓力0.175-0.9Mpa（G），到指定接口點。

　　3)壓縮空氣：不小于流量3NM3/h，壓力0.6-0.75Mpa（G）（氣動閥、氣缸用氣）, 指定接口點。

　　4)脫鹽水：可提供條件，不小于100L/min，到指定接口點。

　　5)純水：不小于 100L/min，到指定接點。

　　6)清洗劑：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

　　7)占地面積：36-80平方米（寬約6-7米，長6-12米

　　8)三廢處理：洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處理，配排污水（池、槽）溝；清洗和烘干產生的廢氣做室外排空排放。
 
　　■設備組成

　　1)高壓熱水清洗動力裝置1套

由高壓熱水清洗機及附件（1套），高壓水自驅動三維洗罐器（1套），三維洗罐器升降裝置（氣動，1套）組成。

　　2)熱風凈化烘干機組1套

進風凈化等級：10萬級。

　　3)清洗烘干工作臺及管道1套

　　4)電氣控制系統1套。

采用PLC+觸摸屏全自動控制，全套德高潔版控制軟件。

　　注：水和風的加熱方式：電加熱，蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。